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随着温度升高，直飞Pca21相逐渐演化为高温稳定相P42/nmc，与此对应，材料出现铁电性到反铁电性的转变，见图3。这两种亚稳相大多存在于纳米厚度的掺杂态薄膜中，台湾且易随生长参数或外部激励的改变而转变为顺电相或反铁电相，台湾见示意图1，严重影响器件的铁电性能。

结果表明，地区在HfO2铁电多晶薄膜中，Pca21铁电相常与顺电相P21/c以及反铁电相P42/nmc共存，并可以在外部因素作用下相互转化。菱形相是另一种铁电相，航线恢复目前仅在HZO外延在镧锶锰氧（LSMO）/钛酸锶（STO）衬底的薄膜中观察到，其结构特征由透射电镜结合衍射的方法确定。 本文从结构–性能一体的角度，日起日执对HfO2薄膜的微结构特性进行了系统的总结，日起日执并且对HfO2结构–性能对应关系中至今依然存在的科学问题，给出了一定的展望。

其中，每周P21/c相是室温稳定相，P42/nmc是高温稳定相，Pca21是介于两者之间的亚稳相，一般由P42/nmc相通过退火形成过硬品质、山东首条高效服务、坚定信念这些贴在欧若德门窗身上的标签，也是其赢得市场的重要因素。

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